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D08400 - SEMI D84 - Terminology for FPD Phase Shift Mask and Mask Blanks StdPbc-1217 orgで。初版は1981年，前版は2001年11月に発行された。This Standard defines the terminology for FPD phase shift masks and mask blanks. This Standard applies to phase shift masks and mask blanks that are principally used in fabricating flat panel displays. Referenced SEMI Standards (purchase separately) None. Revision History SEMI D84 0823 (first published)